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發(fā)布時間:2021-07-09 06:57  
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視頻作者:厚禮博精密儀器(北京)有限公司






流量控制器分類

熱式質(zhì)量流量器根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1.接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi),與流體直接接觸,常被稱為托馬斯流量計,適于測量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸,因此元件易受流體腐蝕和磨損,影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用,這是接觸式的缺點。怕液體和油污進入MFC,會造成失控,如果MFC的出口接有液體罐,需要在MFC出口加上單向閥,防止液體回流。

2.非接觸式熱式質(zhì)量流量器這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外,與被測流體不直接接觸,克服了接觸式的缺點。

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流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。②在進口端置一金屬(或塑料)網(wǎng),可有效地改善流速分布畸變,得到分布均勻的氣流。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。1.接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi),與流體直接接觸,常被稱為托馬斯流量計,適于測量氣體的較大質(zhì)量流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。



一定要按實際使用氣體標定顯示嗎?

不一定。按實際實際使用氣體標定顯示,顯示的是實際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實際應用場合,只需要找到一個合適的流量參數(shù)并保證測量和控制的重復性,至于該氣體的實際質(zhì)量流量是多少,用戶并不是特別關心。在這種情況下,您直接使用廠家的標準出廠產(chǎn)品(氮氣標定顯示)也可以。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。當然,如前面所提到的,您在選定流量規(guī)格時,需要換算一下,以選擇合適的量程。對于某些用戶,同一個產(chǎn)品有時可能會通不同的氣體,這種情況下,直接使用氮氣標定出廠的產(chǎn)品更方便。



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