河南便攜式氦質譜檢漏儀維修常用指南【科創(chuàng)真空】

氦質譜檢漏儀常用檢漏方法及標準

氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。氦質譜檢漏儀原理:氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。

根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同，可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優(yōu)缺點及檢測的標準。

氦質譜檢漏儀的應用拓展

氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數(shù)科研機構走向工礦企業(yè)，甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)、個體企業(yè)，可以說應用領域極其寬廣。

航空航天高科技工業(yè)

1）例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現(xiàn)在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發(fā)動機質量。火箭箭體的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。根據(jù)其工作原理和技術性能指標，通過實驗，總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。

2）KM6空間環(huán)模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統(tǒng)多，結構復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統(tǒng)將盒內抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關閉預抽閥，開啟檢漏閥。檢漏儀是檢漏工作的核心部件，在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。由于盒內氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。

3）航天工業(yè)中，衛(wèi)1星、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。

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高壓開關檢漏——氦質譜檢漏儀

高壓電器行業(yè)提出的《生產(chǎn)63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產(chǎn)品符合技術條件和安全性。高壓開關設備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質，產(chǎn)品要求開關內部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10-12Pa·m3/s。所以再生產(chǎn)過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏，高壓電器采用的氦質譜檢漏儀的氦質譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認同。

鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發(fā)生泄漏和誤檢，使總裝后的產(chǎn)品氣密性達不到要求，導致返工，不但浪費了人力物力，也耽擱了生產(chǎn)周期。由于采用了氦質譜檢漏儀彌補了傳統(tǒng)檢漏的不做，同時可以檢漏漏點和漏率。

氦質譜檢漏儀的檢漏方法根據(jù)被檢工件的情況而定的：

1.對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦，同時觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。

2.對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統(tǒng)抽至5Pa以下，關掉抽氣閥，打開檢漏閥，進行檢漏。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。漏率超過值即為不合格。

3.對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技企業(yè)。自成立以來嚴格執(zhí)行產(chǎn)品國際標準、及行業(yè)標準，應用現(xiàn)代經(jīng)營理念與管理手段，擁有強大的技術支持和先進的生產(chǎn)與檢測設備，精心制造出穩(wěn)定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產(chǎn)品。一個帶集熱器的太陽能熱電設備，可以使能源生產(chǎn)適應能耗和/或電網(wǎng)負荷。