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氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系
流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,數(shù)字質(zhì)量控制器哪家好,Q代表氣體的體積流量(m/s),V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS,數(shù)字質(zhì)量控制器多少錢,M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),數(shù)字質(zhì)量控制器公司,Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,G代表氣體的重量流量(kgf/s),γ代表氣體的介質(zhì)重度(N/㎡),M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s)。
選擇氣體質(zhì)量流量控制器和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么?
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)
不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。質(zhì)量流量控制器(MFC)除耐壓之外,還有另一項(xiàng)工作壓力指標(biāo):工作壓差,即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差,選型時(shí)要注意,使用時(shí)也要注意。
(3) 注意選擇合適氣體、流量規(guī)格、精度和接頭形式和接口尺寸。
除了氣體種類,流量范圍外準(zhǔn)確度和接頭形式也很重要,數(shù)字質(zhì)量控制器,常見的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據(jù)流量范圍來定制。
氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過,即電磁閥漏氣??蛻魬?yīng)用MFC時(shí), 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi), 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。
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