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在基片上形成薄膜有多種方法。制造薄膜網(wǎng)路常用物理汽相淀積(PVD)法,有時還用陽極氧化或電鍍法。在物理汽相淀積法中,最常用的是蒸發(fā)工藝和濺射工藝。這兩種工藝都是在真空室中進行的,所以統(tǒng)稱為真空成膜法。用這兩種方法,可以制造無源網(wǎng)路中的無源元件、互連線、絕緣膜和保護膜。陽極氧化法可以形成介質(zhì)膜,并能調(diào)整電阻膜的阻值。在制造分布參數(shù)微波混合集成電路時,用電鍍法增加薄膜微帶線的厚度,以減少功耗。
薄膜材料 在薄膜電路中主要有四種薄膜:導電、電阻、介質(zhì)和絕緣薄膜。導電薄膜用作互連線、焊接區(qū)和電容器極板。電阻薄膜形成各種微型電阻。介質(zhì)薄膜是各種微型電容器的介質(zhì)層。絕緣薄膜用作交叉導體的絕緣和薄膜電路的保護層。各種薄膜的作用不同,所以對它們的要求和使用的材料也不相同。
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對導電薄膜的要求除了經(jīng)濟性能外,主要是導電率大,附著牢靠,可焊性好和穩(wěn)定性高。因尚無一種材料能完全滿足這些要求,所以必須采用多層結構。常用的是二至四層結構,如鉻-金(Cr-Au)、鎳鉻-金(Ni Cr-Au)、鈦-鉑-金(Ti-Pt-Au)、鈦-鈀-金(Ti-Pd-Au)、鈦-銅-金(Ti-Cu-Au)、鉻-銅-鉻-金(Cr-Cu-Cr-Au)等。
機油冷卻器的種類
1)風冷式機油冷卻器
風冷式機油冷卻器的芯子由許多冷卻管和冷卻板組成,在汽車行駛時,利用汽車迎面風冷卻熱的機油冷卻器芯子。風冷式機油冷卻器要求周圍通風好,在普通轎車上很難保證有足夠的通風空間,一般很少采用。在賽車上多半采用這種冷卻器,因為賽車速度高,冷卻風量大。
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