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發(fā)布時(shí)間:2020-12-11 03:21  







清洗是通過(guò)化學(xué)或(及)物理的方法將工件上的油污、銹跡、灰塵等去除干凈,確保工件獲得較好的涂層結(jié)合力和生產(chǎn)的順利進(jìn)行。清洗是PVD涂層前必不可少的一道工序,也是PVD涂層生產(chǎn)中zui重要的工藝,清洗出了問(wèn)題,涂層生產(chǎn)不得不延遲、涂層過(guò)程可能中斷、或涂層結(jié)合力出現(xiàn)問(wèn)題而導(dǎo)致客戶(hù)投訴和賠償,尤其是在涂層設(shè)備的技術(shù)能力不高的情況下,清洗出了問(wèn)題,更容易發(fā)生上述風(fēng)險(xiǎn)。有四個(gè)因素影響著清洗的質(zhì)量,分別為:清洗時(shí)間、化學(xué)藥劑、機(jī)械作用以及清洗液溫度,這四個(gè)因素之間也相互影響,一個(gè)因素的減弱,可以通過(guò)增強(qiáng)另外三個(gè)因素的作用來(lái)彌補(bǔ),反之亦然。



有四個(gè)因素影響著清洗的質(zhì)量,分別為:清洗時(shí)間、化學(xué)藥劑、機(jī)械作用以及清洗液溫度,這四個(gè)因素之間也相互影響,一個(gè)因素的減弱,可以通過(guò)增強(qiáng)另外三個(gè)因素的作用來(lái)彌補(bǔ),反之亦然。在這四個(gè)因素中,清洗時(shí)間的zui小化也是追求的目標(biāo),這樣可以提高清洗的效率.縮短生產(chǎn)時(shí)間和交貨周期。清洗主要方法和步驟應(yīng)包括:化學(xué)藥劑噴淋、化學(xué)藥劑浸泡與超聲波清洗、漂洗、烘干。1)化學(xué)藥劑噴淋?chē)娏軐?duì)于清洗來(lái)說(shuō)非常有效,它能夠清除掉工件上絕大部分油污及污染物。尤其對(duì)有孔工件來(lái)說(shuō),更加有效,噴淋到工件上的化學(xué)藥劑會(huì)流入孔中或化學(xué)藥劑被直接噴進(jìn)孔中對(duì)孔內(nèi)壁進(jìn)行沖洗。



主要工藝:目前,物理氣相沉積(PVD)技術(shù)主要包括真空陰極弧物理蒸發(fā)、真空磁控離子濺射、離子鍍以及增強(qiáng)濺射四種。①陰極弧物理蒸發(fā)(ARC):真空陰極弧物理蒸發(fā)過(guò)程包括將高電流,低電壓的電弧激發(fā)于靶材之上,并產(chǎn)生持續(xù)的金屬離子。被離化的金屬離子以60-100eV平均能量蒸發(fā)出來(lái)形成高度激發(fā)的離子束,在含有惰性氣體或反應(yīng)氣體的真空環(huán)境下沉積在被鍍工件表面。真空陰極弧物理蒸發(fā)靶材的離化率在90%左右,所以與真空磁控離子濺射相比,沉積薄膜具有更高的硬度和更好的結(jié)合力。


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