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渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀，在它以20000~30000r/min的高速旋轉(zhuǎn)的同時，葉片將動量傳給氣體分子。葉片高速旋轉(zhuǎn)，其周邊的線速度一般200~300m/s，相當(dāng)于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空，渦輪分子泵中裝有多級。上級葉片輸送過來的氣體分子又會收到下級葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下級。因此，渦輪分子泵的的一個特點是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮氣，其壓縮比可以達到109 但是渦輪分子泵抽除分子質(zhì)量較小的氣體能力較差，例如氫氣，其壓縮比僅有103 。當(dāng)出現(xiàn)警告信息“EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機槍進行檢查。

新設(shè)計了獨立和一體式控制器，還開發(fā)了全新的智能控制軟件。新的控制軟件使用智能算法根據(jù)氣體負(fù)載的變化和實時溫度，自動調(diào)整泵的功率，并且為三種典型氣體分別做了專有的控制曲線?？刂破餍略黾拥闹鲃觿x車功能可在不破空的情況下快速停機，節(jié)省工藝時間并盡可能的縮短分子泵在共振區(qū)停留的時間，延長了軸承壽命。對于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器，以便可能的減少振動。

有防護網(wǎng)保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？

　　原因：防護網(wǎng)，前級管道

　　解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計

真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解決方法：檢查油池

軸承裝配不良

處理方法：按要求檢查軸承裝配情況，消除不合要求因素；

冷卻水?dāng)嗦?

處理方法：檢查、修理；

軸承磨損或松動

處理方法：修理軸承或報廢。

若松協(xié)，復(fù)緊有關(guān)螺栓；泵軸彎曲

處理方法：矯正泵軸；

甩油環(huán)變形，甩油環(huán)不能轉(zhuǎn)動，帶不上油

處理方法：更新甩油環(huán)；

膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？

　　答：不作特殊限定，至少3個，按照法蘭大小可選3、6、12、24等

變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？

　　答：①電壓不穩(wěn)②強干擾③高壓打火④認(rèn)為

分子泵噪音大如何界定？是否有合格標(biāo)準(zhǔn)，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要儀器和特定的測試環(huán)境

轉(zhuǎn)子竄動大操作不當(dāng)，運行工況遠離泵的設(shè)計工況

處理方法：嚴(yán)格操作，使泵始終在設(shè)計工況附近運行；

平衡不通暢

處理方法：疏通平衡管；

平衡盤及平衡盤座材質(zhì)不合要求

處理方法：更換材質(zhì)符合要求的平衡盤及平衡盤座。

軟啟動器開關(guān)電源在什么情況會導(dǎo)致程序流程遺失或是紊亂?

答：①短路②強影響③髙壓點火④覺得破譯。VARIAN分子泵維修聯(lián)系方式

分子泵噪聲大怎樣定義?是不是有達標(biāo)規(guī)范，多少錢?

答:低于72db達標(biāo)，噪聲的尺寸不大好定義，必須儀器和特殊的接口測試。VARIAN分子泵維修聯(lián)系方式