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氣體管道安裝工程要求:
(一)工作壓力大于或者等于0.1MPa(表壓,下同)的;
(二)公稱直徑大于25mm的;注1:公稱直徑即公稱通徑、公稱尺寸,代號一般用DN表示?!秹毫艿涝圃煸S可規(guī)則》:本規(guī)則所稱公稱直徑根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),依據(jù)不同的管材、管件,可以指公稱外徑、公稱內(nèi)徑、通徑和口徑、公稱尺寸。
(三)輸送介質(zhì)為氣體、蒸汽、液化氣體、工作溫度高于或者等于其標(biāo)準(zhǔn)沸點的液體或者可燃、易i爆、有毒、有腐蝕性的液體的。相應(yīng)等級的實驗室就應(yīng)該有相應(yīng)的設(shè)計規(guī)范,這樣才能完i美的設(shè)計出一個利于工作而保證安全的實驗室。根據(jù)原勞動部《壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定》和質(zhì)檢總局《壓力容器壓力管道設(shè)計許可規(guī)則》TSGR1001-2008的定義,工業(yè)管道是指企業(yè)、事業(yè)單位所屬的用于輸送工藝介質(zhì)的工藝管道、公用工程管道及其他輔助管道。
氣體管道工程流量太大調(diào)不小的原因與解決辦法?
氣體管道工程在實施時難免發(fā)生大大小小的事情,如果不加以解決會影響整個工程的進(jìn)展,甚至造成更大的損失,那么呢了解氣體管道工程流量太大調(diào)不小的原因嗎,當(dāng)遇到這種問題又有哪些解決方法呢?
產(chǎn)生此類故障的原因有三種:
第i一,是流量計后氣路有泄漏;
第二,是氣路氣阻太小;
第三,是流量控制閥件損壞。
實驗室氣體管道工程
其檢查方法如下:
首先堵住檢測器的氣路出口,觀察流量計中的轉(zhuǎn)子是否可下降到零位。如不能降為零,需要考慮對漏氣處進(jìn)行檢查,具體方法見氣路泄漏的檢查與排除;如轉(zhuǎn)子可降到零位說明系統(tǒng)不漏氣。
氣體管道工程
此時應(yīng)觀察一下流量調(diào)節(jié)閥轉(zhuǎn)動時,流量是否 有較大的變動,若有變動可適當(dāng)增加氣路氣阻;若無變動則應(yīng)懷疑閥件本身有問題,按照閥件的清洗部分處理。處理后的閥件應(yīng)再裝回原氣路中進(jìn)行控制試驗。
高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU),為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標(biāo)一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。10、供氣系統(tǒng)安裝完成后,根據(jù)要求進(jìn)行相關(guān)的強(qiáng)度測試、密封測試和穩(wěn)定性測試。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則,并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇,若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管,經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下,其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體,如GN2、CDA。3、根據(jù)實驗室的用氣量,計算供氣壓力,流量和管道的內(nèi)徑,所有氣體主管道原則不低于9。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管。
不同氣體配管要求
腐蝕性能較強(qiáng)的氣體時,須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管,否則,管材將會由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑,嚴(yán)重時會出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔,從而污染輸配的純凈氣體。
大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接,原則上全部采用焊接,要求采用的管材,在施焊時組織不發(fā)生變化。含碳過高的材料在焊接時,受焊接部位的透氣,使得管內(nèi)外氣體的相互滲透,破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度,導(dǎo)致我們的各項努力全部失去意義。這種聯(lián)接方法簡單,可以拆卸重裝,但須在管道的適當(dāng)?shù)胤桨惭b活接頭,以便于拆裝。