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   渦輪分子泵是獲取高真空的一個(gè)重要設(shè)備，被廣泛應(yīng)用于高真空?qǐng)龊?。相較于傳統(tǒng)滾珠及油膜軸承，電磁軸承作為一種新型軸承，因其非接觸、無摩擦、低功耗、維護(hù)成本低、動(dòng)力學(xué)可控并可對(duì)轉(zhuǎn)子動(dòng)不平衡進(jìn)行主動(dòng)控制等特殊優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)應(yīng)用上前景廣闊。廣州潽拓光電——Leybold進(jìn)口分子泵產(chǎn)地Leybold進(jìn)口分子泵產(chǎn)地分子泵出售leyboldTMP600C萊寶耐腐蝕CF接口分子泵及專業(yè)維修LEYBOLD1。對(duì)真空設(shè)備而言，非接觸懸浮是很有吸引力的。電磁軸承應(yīng)用于渦輪分子泵，可實(shí)現(xiàn)分子泵的無油、無磨損運(yùn)行，運(yùn)行安靜，振動(dòng)很小，尤其適合半導(dǎo)體工業(yè)等超凈高真空應(yīng)用場(chǎng)合。在此，將介紹2000 L 五自由度磁軸承渦輪分子泵樣機(jī)研究進(jìn)展，重點(diǎn)關(guān)注磁懸浮分子泵試驗(yàn)研究中遇到的各種復(fù)雜振動(dòng)抑制問題。這些振動(dòng)問題由各種因素所導(dǎo)致，包括泵轉(zhuǎn)子的彎曲模態(tài)振動(dòng)，陀螺效應(yīng)造成的轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)失穩(wěn)，泵葉輪上葉片的顫振及一個(gè)由轉(zhuǎn)子與分子泵永磁電機(jī)共同導(dǎo)致的復(fù)雜振動(dòng)模態(tài)。這些因素同時(shí)出現(xiàn)，并且均能對(duì)泵轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性造成破壞，必須在磁軸承控制器設(shè)計(jì)中同時(shí)解決，給控制器的設(shè)計(jì)帶來大的困難。

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