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壓電陶瓷執(zhí)行器因其體積小、位移分辨率高、響應速度快、輸出力大、換能效益高等優(yōu)點,廣泛應用于掃描探針顯微鏡、自適應
/主動光學元件、納米定位、振動控制、聲學、聲納、微流體輸送等領域中[1]。對于壓電陶瓷穩(wěn)定工作很多困難亟待解決,其中迫切的就是驅(qū)動電源,壓電陶瓷驅(qū)動電源技術己成為目前壓電陶瓷執(zhí)行器應用中的關鍵技術之一[2]。
壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源主要有電壓控制型和電流/電荷控制型兩種[3],從實現(xiàn)方式上主要有線性和開關式兩種[4]。電壓控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動電源有以下幾種方式:
1)線性直流放大式電源直接采用高壓運算放大器的方式具有靜態(tài)性能好、集成度高、結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點,但由于高壓運算放大器的輸出電流一般都小于200mA,因此壓電陶瓷執(zhí)行器的動態(tài)性能受到限制。
在各種精密陶瓷中,以電子陶瓷的應用樣,市場也大,由於其優(yōu)異的特性,且具有一些特殊的性能,如壓電性、焦電性等,使它在電子工業(yè)上占有一個非常重要的地位,其特性分述如下:
陶瓷具有相當優(yōu)良的環(huán)境穩(wěn)定性,比如抗酸抗堿性,耐高溫低溫,耐磨耐壓,因此可以應用在相當嚴苛的條件之下,擴大了應用的范圍。
在各種精密陶瓷中,以電子陶瓷的應用樣,市場也大,由於其優(yōu)異的特性,且具有一些特殊的性能,如壓電性、焦電性等,使它在電子工業(yè)上占有一個非常重要的地位,其特性分述如下: