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光波超精密——?dú)飧?dǎo)軌
大理石氣浮導(dǎo)軌對(duì)材料的要求
大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動(dòng)小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動(dòng)力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時(shí)要求它具有以下特征:
1.導(dǎo)熱性要好,隨時(shí)間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;
2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長(zhǎng)縮短;
3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;
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4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會(huì)輕易劃傷、磨損;
5.具有較高的強(qiáng)度,汕頭氣浮導(dǎo)軌,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;
6.對(duì)于運(yùn)動(dòng)部分的材料,在密度上要小,保證由于測(cè)量機(jī)的高速、高加速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的測(cè)量機(jī)慣性力不會(huì)造成損傷;
7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級(jí)的變形);
8.工藝性好,易于加工,成本要低.
作為超精密測(cè)量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.
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氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式
平面封閉型導(dǎo)軌:這種形式的導(dǎo)軌,由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小,可以達(dá)到高精度,高剛性,大載荷的要求,zui適合用作精密加工機(jī)床和測(cè)量?jī)x器等設(shè)備的長(zhǎng)導(dǎo)軌。
重量平衡式導(dǎo)軌:此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定,全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān),易發(fā)生變形,故除垂直導(dǎo)軌外,多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。
真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌:該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于加工。但軸承剛度較低,適合負(fù)荷變化小的場(chǎng)合。
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真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌:該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型,適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下,在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí),由固定的導(dǎo)軌間隙維持。
線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型
一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。
二是靜壓導(dǎo)軌,根據(jù)流體的不同,可分為:空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。
三、滾動(dòng)導(dǎo)軌,因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。
四、磁浮軌道
幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。
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氣動(dòng)直線導(dǎo)軌滑臺(tái),是自動(dòng)化技術(shù)工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)廣泛運(yùn)用的直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在數(shù)控車床,自動(dòng)化機(jī)械,單軸氣浮導(dǎo)軌,智能機(jī)器人行業(yè)運(yùn)用普遍。其一般由步進(jìn)馬達(dá)或伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng),機(jī)床氣浮導(dǎo)軌,根據(jù)高精密滾珠絲桿或同步齒形帶,直線導(dǎo)軌的組成傳動(dòng)系統(tǒng)來完成導(dǎo)軌滑塊的直專線運(yùn)輸挪動(dòng)。工業(yè)生產(chǎn)運(yùn)用中氣動(dòng)直線導(dǎo)軌滑臺(tái)不但必須優(yōu)良的剛度和反復(fù)精密度,其經(jīng)久耐用特性,省勁特點(diǎn),負(fù)荷工作能力全是在設(shè)計(jì)方案運(yùn)用中主要留意的主要參數(shù)。
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由于不同設(shè)備要求的預(yù)壓力也不同,直線氣浮導(dǎo)軌,所以當(dāng)預(yù)壓力不同時(shí),會(huì)產(chǎn)生噪音;所謂的預(yù)壓力,是指直線導(dǎo)軌滑塊翻滾體在軌道上所受的預(yù)緊力,也稱為配合力。線性導(dǎo)軌滑塊的預(yù)壓級(jí)分為輕預(yù)壓級(jí)、中等預(yù)壓級(jí)和超重預(yù)壓級(jí)。在以下條件下選擇不同預(yù)壓方式: 輕預(yù)壓:適合負(fù)載方向必定、轟動(dòng)、沖擊小、并排兩軸使用。精i確度要求不高,單一要求滑動(dòng)阻力小的設(shè)備。例如:射束焊接機(jī)械、裝訂機(jī)械、主動(dòng)包裝機(jī)、XY軸、主動(dòng)門窗加工機(jī)、焊機(jī)等工業(yè)機(jī)械;中預(yù)壓機(jī):懸臂式或力矩式設(shè)備、單軸式設(shè)備、輕負(fù)荷要求高精度設(shè)備等。例如:磨床工作臺(tái)進(jìn)給軸、主動(dòng)涂裝裝置、工業(yè)機(jī)械手、測(cè)量器、精細(xì)XY通道等;重預(yù)壓:要求高剛度、沖擊力大的設(shè)備、重切削機(jī)床等。如:機(jī)械加工基地、數(shù)控車床、磨床砂輪進(jìn)給軸、刀具導(dǎo)向部等。
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