棗莊空氣靜壓導(dǎo)軌-光波超精密無憂售后-光柵空氣靜壓導(dǎo)軌

光波超精密——空氣靜壓導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實(shí)驗(yàn)室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，機(jī)床空氣靜壓導(dǎo)軌，更不用整套更換。

基準(zhǔn)修正精度永不損失，導(dǎo)軌不用人為修正，補(bǔ)償，高頻雜波信號(hào)干擾測量精度高。氣膜剛度大，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，振幅小，且振動(dòng)頻率接近，因此可完全避免和消除在高精度測量中振動(dòng)對(duì)測量精度的影響，

光波超精密技術(shù)研究院——空氣靜壓導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌，簡單易行，即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對(duì)懸浮，實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)，并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)有：1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，棗莊空氣靜壓導(dǎo)軌，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系，即使在非常低速也不會(huì)產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。

光波超精密——空氣靜壓導(dǎo)軌

滾動(dòng)導(dǎo)軌是直線導(dǎo)軌的一種。滾動(dòng)直線滑軌是一種滾動(dòng)導(dǎo)引，它由在滑塊與滑軌之間作無限滾動(dòng)循環(huán)，使得負(fù)載平臺(tái)能沿著滑軌輕易的以高精度作線性運(yùn)動(dòng)，其摩擦系數(shù)可降至傳統(tǒng)滑動(dòng)導(dǎo)引的1/50，使之能輕易地達(dá)到μm級(jí)的定位精度。

滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)

1、靈敏度高，且其動(dòng)摩擦與靜摩擦系數(shù)相差甚微，因而運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，進(jìn)口空氣靜壓導(dǎo)軌，低速移動(dòng)時(shí)不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。

2、定位精度高，重復(fù)定位精度可達(dá)0.2μm。

3、摩擦阻力小，移動(dòng)輕便，磨損小、精度保持性好。

滾動(dòng)導(dǎo)軌特別適用于機(jī)床的工作部件要求移動(dòng)均勻、運(yùn)動(dòng)靈敏及定位精度高的場合。

光波超精密——空氣靜壓導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌組成部分

(1)導(dǎo)軌座和溜板；

(2)節(jié)流器，如小孔節(jié)流器、毛細(xì)管節(jié)流器、、薄膜反饋節(jié)流器等；

(3)供氣系統(tǒng)及調(diào)節(jié)裝置。

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點(diǎn)：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強(qiáng)；

(2)氣膜剛度較高，所以對(duì)導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。

光波超精密——空氣靜壓導(dǎo)軌

氣浮靜壓i軸承不同結(jié)構(gòu)尺寸的阻尼差異較大，光柵空氣靜壓導(dǎo)軌，在承載方向上阻尼較小，對(duì)外界引起的振動(dòng)和空氣軸承自身固有的微振動(dòng)衰減較慢，影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和測量精度，因此在設(shè)計(jì)出氣浮塊后，必須對(duì)其阻尼系數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測和評(píng)價(jià)。設(shè)計(jì)了一種測量計(jì)算氣浮阻尼的儀器。常規(guī)阻尼測量方法需要記錄氣浮振動(dòng)，并對(duì)計(jì)算阻尼進(jìn)行再分析，在記錄氣浮振動(dòng)的過程中，由于依靠氣浮塊的振動(dòng)來帶動(dòng)記錄筆，因此記錄結(jié)果誤差較大，因而所測阻尼結(jié)果誤差也較大。由于傳統(tǒng)的阻尼測量過程繁瑣，測量結(jié)果誤差較大，提出采用先進(jìn)的傳感器和分析儀進(jìn)行阻尼測量，測量結(jié)果接近真值，方法簡便。其用途十分廣泛。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——空氣靜壓導(dǎo)軌

測得靜壓式導(dǎo)軌氣浮塊阻尼特性的試驗(yàn)檢測裝置，包括：沖擊式導(dǎo)軌1、加速度傳感器保護(hù)盒2、加速度傳感器3、氣浮塊4、模態(tài)分析儀5、工作臺(tái)6、氣源7、氣源減壓閥8、單向閥9、供氣壓力閥10、氣浮塊11；氣源7依次通過氣源減壓閥8、單向閥9與氣源減壓閥11連接；沖擊式導(dǎo)軌3、沖擊式導(dǎo)軌1與氣浮塊4連接；氣浮塊4放置在工作臺(tái)6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導(dǎo)軌1和沖擊式導(dǎo)軌1分別與加速度傳感器保護(hù)盒5連接；

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