惠東愛德華真空泵-明勝機(jī)電-愛德華真空泵e2m80

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運(yùn)行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時，惠東愛德華真空泵， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確保可以 將泵溫度設(shè)置為一個較低值以降低腐蝕風(fēng)險。我們的泵設(shè)計 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

愛德華真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，愛德華真空泵e2m30，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

Edward真空泵油概述：  提供一系列新型油：Ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生產(chǎn)。大多數(shù)制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用的濕法處理制程生產(chǎn)。這一制程不會產(chǎn)生氮、硫、氧和芳香烴類，因此可得到無任何雜質(zhì)的清潔基料。

加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。特性與優(yōu)勢： 加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。

油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。

這些油所具備的以上特性使其適用于多種應(yīng)用。

Edward愛德華EH1200羅茨泵維修保養(yǎng) 漏氣，有點(diǎn)卡死

EH1200是德國Edward愛德華EH系列羅茨泵，這款泵是比較大的，羅茨泵不能單獨(dú)使用，愛德華真空泵e2m80，一般是可以搭配螺桿泵或者旋片泵使用。其他進(jìn)口螺桿真空泵維修型號：EH250，EH500，EH1200， EH2600，EH4200

提供進(jìn)口羅茨泵維修保養(yǎng)，維修品牌包括：萊寶、愛德華、Aerzen， Kaesser，愛德華真空泵維修， Dresser， Hibon， Robuschi， RKR等進(jìn)口品牌；羅茨泵維修提供萊寶WSU系列、WAU系列和愛德華EH系列等；

愛德華羅茨泵維修因為結(jié)構(gòu)不一樣，所以它和油封封E2M80的維修方法有點(diǎn)不一樣，出現(xiàn)的故障也不一樣。像羅茨泵一般會出現(xiàn)的問題是

1.發(fā)熱、

2.卡死、

3.抽氣量不足、

4.性能不穩(wěn)定、

5.噪音大等故障；

溫馨提示：如果愛德華EH1200羅茨泵漏氣，有點(diǎn)卡死，記得致電的羅茨真空泵維修廠家，不可擅自處理，以免引起其他不良的故障反應(yīng)。

惠東愛德華真空泵-明勝機(jī)電-愛德華真空泵e2m80由惠州市明勝機(jī)電設(shè)備有限公司提供。惠州市明勝機(jī)電設(shè)備有限公司擁有很好的服務(wù)與產(chǎn)品，不斷地受到新老用戶及業(yè)內(nèi)人士的肯定和信任。我們公司是商盟認(rèn)證會員，點(diǎn)擊頁面的商盟客服圖標(biāo)，可以直接與我們客服人員對話，愿我們今后的合作愉快！